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半导体流程特殊尾气吸附剂及净化机台
半导体流程特殊尾气吸附剂及净化机台
详细说明:

Local scrubberYQ-501D 是用于处理半导体工艺生产中产生的有害废气,保护大气环境而必需具备的附机装置。Dry Scrubber是通过各种吸附材料吸附对应的制程尾气,使其达到无毒无害符合环境保护排放要求的尾气处理装置。

Local scrubberYQ-613W是用于处理半导体工艺生产中产生的有害废气,保护大气环境而必需具备的附机装置。Thermal-Wet Scrubber是通过对有毒有害的工艺尾气进行升温加热和水喷淋处理,使其达到无毒无害符合环境保护排放要求的尾气处理装置



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