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详细说明：
| 牌号 | 尺寸 | 电气能耗 | 应用气体类型 |
| CEZ-613HW | 750X700X1900 | 220V,3P,8.5KW | H2,NH3,SiH4,PH3,AsH3,TCS,DCS,HF/F2,VOCx，CH3SiH3。....等 |
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| 牌号 | 尺寸 | 电气能耗 | 应用气体类型 |
| CEZ-613HW | 750X700X1900 | 220V,3P,8.5KW | H2,NH3,SiH4,PH3,AsH3,TCS,DCS,HF/F2,VOCx，CH3SiH3。....等 |
