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详细说明：
| 牌号 | 尺寸 | 电气能耗 | 应用气体类型 |
| CEZ-100SD | 1400X700X1600 | 220V,1P,0.5kw | CL2,F2,HCL,HF,NH3,WF6,GeH4,B2H6,BCL3,CLF3,SiH4,PH3,AsH3,DCS,DEZ,TEOS.........等 |
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